說明:
硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量快速熱處理(RTP)是硅晶片制造過程中的一個(gè)重要步驟,在這一過程中,晶片會在短時(shí)間內(nèi)被加熱至高溫,然后以可控的方式緩慢冷卻,以賦予晶片所需的半導(dǎo)體特性。硅晶片在溫度變化過程中的形貌測量對其性能穩(wěn)定性至關(guān)重要。本文將探討瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)在硅晶片溫度形貌測量方面的突出優(yōu)勢。硅晶片作為一種新型半導(dǎo)體材料,具有高熱導(dǎo)率、高電子遷移率和高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn),因此在航空航天、汽車電子、可再生能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。然而,硅晶片在高溫度環(huán)境下的形貌變化對其性能有著重要影響,因此對其進(jìn)行精確的溫度形貌測量至關(guān)重要。瑞士丹青 S neox 三維輪廓測量系統(tǒng)是一款高精度的非接觸式三維形貌測量儀,能夠在不同溫度下對硅晶片進(jìn)行精確測量。通過采用先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),S neox 可以捕捉到晶片表面微小的形貌變化,為科研與生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。產(chǎn)品優(yōu)勢:1、高精度:瑞士丹青S neox 采用內(nèi)先進(jìn)的光學(xué)掃描技術(shù),測量精度高達(dá)納米級別,確保了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。2、非接觸式測量:避免了對碳化硅晶圓表面的物理損傷,確保了樣品的完整性。3、快速掃描:S neox具有快速掃描功能,能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量樣品的測量,提高工作效率。通過S neox 的精確測量,科研人員和企業(yè)可以更好地了解硅晶片在溫度變化過程中的形貌變化規(guī)律,進(jìn)而優(yōu)化生產(chǎn)工藝,提高產(chǎn)品質(zhì)量。此外,SensoSCAN軟件可協(xié)助自動化操作,減少人工干預(yù),提高測量效率和重復(fù)性。瑞士丹青 S neox三維輪廓測量系統(tǒng)作為一款先進(jìn)的三維形貌測量儀,其在硅晶片溫度形貌測量方面具有顯著優(yōu)勢。借助S neox三維輪廓測量系統(tǒng) ,企業(yè)可以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
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現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的目標(biāo)是為便攜式產(chǎn)品開發(fā)具有越來越小和更薄封裝的電子設(shè)備。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)最重要的步驟之一是通過機(jī)械研磨工藝將加工后的硅晶片從背面減薄至 50μm 以下。為了避免應(yīng)力和亞表面損傷,這對表面粗糙度要求非常高,在最終研磨步驟中,該粗糙度可能在 1 nm Ra 的范圍內(nèi)。測量這一等級的表面粗糙度的常用方法是通過共聚焦顯微鏡 (CFM)、白光干涉儀 (WLI) 或原子力顯微鏡 (AFM) 進(jìn)行單點(diǎn)或是劃線測量。但這些儀器的缺點(diǎn)是對機(jī)械環(huán)境噪聲敏感,測量時(shí)間長。這里,我們將介紹一種新型的散射光測量方法,該方法能夠在不到 30 秒的時(shí)間內(nèi)測量直徑300 mm整個(gè)晶圓表面。除了粗糙度,傳感器還同時(shí)測量翹曲、波紋度和缺陷。同時(shí)將展現(xiàn)采用不同粒度研磨表面的測試結(jié)果分析。 晶圓表面加工工藝過程極小和高密度電子產(chǎn)品的趨勢需要先進(jìn)的工藝來滿足設(shè)備的厚度和熱性能規(guī)格。這意味著處理后的硅晶片必須從其原始厚度超過 700 µm 減薄至 50 µm 或更小。最常見且成本相對較低的減薄方法是通過機(jī)械去除殘余硅的背面研磨。晶片固定在多孔真空吸盤上,IC(集成電路)面朝下。砂輪的旋轉(zhuǎn)軸與晶片的旋轉(zhuǎn)軸離軸定位(距離是晶片的半徑)。卡盤呈略呈圓錐形的形狀,以很小的傾斜度使晶片變形,以確保砂輪在研磨過程中僅接觸晶片的一半。由于卡盤的旋轉(zhuǎn)和砂輪的同時(shí)旋轉(zhuǎn),在晶片表面上產(chǎn)生了典型的螺旋劃痕圖案。根據(jù)砂輪的粒度以及轉(zhuǎn)速和進(jìn)給率等加工參數(shù),這種機(jī)械沖擊是造成粗糙度、應(yīng)力和誘發(fā)亞表面損傷的原因。因此,現(xiàn)代晶圓磨床從粗砂輪開始,先是快速去除多余硅,最后使用小粒度砂輪進(jìn)行精細(xì)研磨。當(dāng)減薄至 50 µm 以最大程度地減少次表面損傷和應(yīng)力時(shí),這個(gè)最終過程是絕對必要的。表面粗糙度通常應(yīng)在 Ra 當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)測量方法的局限性是砂輪與其大量單刀刃的相互作用,與硅表面經(jīng)歷不均...
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全自動螺紋測量機(jī)爆破鉆桿測量測試在當(dāng)今的石油勘探領(lǐng)域,射孔槍作為一種關(guān)鍵的鉆井工具,承擔(dān)著震碎井下地質(zhì)結(jié)構(gòu)、提高油氣抽取效率的重要任務(wù)。然而,由于其工作的特殊性和環(huán)境的復(fù)雜性,射孔槍的質(zhì)量和性能成為影響鉆井效率和安全的關(guān)鍵因素。由于射孔槍是破壞性的消耗品,因此其用量很大,需要高效且精確的檢測設(shè)備來保證其質(zhì)量。該項(xiàng)目的檢測設(shè)備需要能夠集成到生產(chǎn)線中,并且能夠全自動地檢測管件內(nèi)螺紋的各種參數(shù),如大徑、小徑、中徑、螺距等。此外,該設(shè)備還需滿足普通螺紋規(guī)程和標(biāo)準(zhǔn),能夠自動進(jìn)行檢測結(jié)果判定,并在檢測異常時(shí)及時(shí)反饋給產(chǎn)線PLC,以便于及時(shí)處理。為此,某石油制造公司與一家智能系統(tǒng)股份公司合作,引入了瑞士丹青科技全自動螺紋測量機(jī),以提高射孔槍的檢測效率和精度。瑞士丹青科技的萬能螺紋測量儀是一種全自動測量內(nèi)外螺紋的設(shè)備。這款測量儀具有高精度和高效率的特點(diǎn),適用于多種螺紋類型的測量,包括圓柱螺紋、管螺紋、錐螺紋等。它符合多種國際標(biāo)準(zhǔn),如ANSI/ASME、BS、ISO、DIN、JIS等,并具有認(rèn)證技術(shù),確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。這套全自動螺紋測量機(jī)的引入,不僅提高了射孔槍的檢測效率和精度,也為我國的石油勘探事業(yè)提供了有力的技術(shù)支持。我們相信,在科技的助力下,我國的石油勘探事業(yè)將取得更大的突破和進(jìn)步。
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軸類應(yīng)用的精密守護(hù)者瑞士丹青科技軸類水平儀親愛的朋友們,大家好!在今天的推送中,我們將聚焦于軸類應(yīng)用在極端環(huán)境下的精度監(jiān)測問題,并為大家介紹一款能夠在各類環(huán)境中穩(wěn)定發(fā)揮的測量利器——軸類水平儀。這款儀器以其高分辨率和高靈敏度的特點(diǎn),成為了軸類應(yīng)用精密守護(hù)者。接下來,讓我們一探究竟,看看軸類水平儀是如何在這些挑戰(zhàn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用的。 極端海況下的挑戰(zhàn)在海上,大型船類曲軸面臨著劇烈振動、溫度變化、腐蝕和長時(shí)間運(yùn)行等挑戰(zhàn)。這些因素可能導(dǎo)致曲軸的變形、磨損,從而影響船舶的動力輸出和安全性。在極端海況下,曲軸的精度尤為關(guān)鍵,任何微小的偏差都可能導(dǎo)致整個(gè)船舶系統(tǒng)失效。瑞士丹青科技軸類水平儀的專業(yè)解決方案瑞士丹青科技軸類水平儀專門設(shè)計(jì)用于解決這些挑戰(zhàn),提供高精度的測量數(shù)據(jù),確保曲軸的精確水平。它的耐腐蝕材料和抗振動設(shè)計(jì),使其能夠在惡劣的海洋環(huán)境中穩(wěn)定工作。此外,軸類水平儀的溫度補(bǔ)償技術(shù)能夠自動調(diào)整因溫度變化引起的數(shù)據(jù)偏差,保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。瑞士丹青科技軸類水平儀的這些特點(diǎn)使得它能夠準(zhǔn)確監(jiān)測曲軸的微小傾斜和偏移,確保動力系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。在某大型遠(yuǎn)洋貨輪的曲軸校準(zhǔn)現(xiàn)場,瑞士丹青科技軸類水平儀的表現(xiàn)證明了其卓越性能:- **精確監(jiān)控**:軸類水平儀精確檢測曲軸的微小傾斜和偏移,確保動力系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。在極端海況下的測試中,曲軸的傾斜度保持在預(yù)定的安全范圍內(nèi),避免了潛在的運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)。- **快速響應(yīng)**:高靈敏度使得工程師能夠迅速發(fā)現(xiàn)并糾正曲軸的任何偏差。在緊急情況下,軸類水平儀迅速識別出曲軸的微小偏移,工程師及時(shí)進(jìn)行了調(diào)整,避免了潛在的安全隱患。- **可靠數(shù)據(jù)**:通過軸類水平儀提供的高分辨率數(shù)據(jù),工程師能夠?qū)ηS的穩(wěn)定性進(jìn)行評估,優(yōu)化船舶的運(yùn)行方案。在航行前,軸類水平儀的數(shù)據(jù)分析幫助工程師識別出潛在的曲軸磨損問題,及時(shí)進(jìn)行了更換,確保了航行的安全。瑞士丹青科技軸類水平儀以其高分辨率和高...
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內(nèi)徑測量儀革新者瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀,憑借其深厚的歷史底蘊(yùn)和卓越的測量性能,已經(jīng)贏得了眾多企業(yè)的認(rèn)可。這款設(shè)備有著百年歷史,是精密內(nèi)徑測量的兩點(diǎn)接觸設(shè)備,適用于工序前和最后的檢測,尤其適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測。測孔專家瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀采用兩點(diǎn)接觸測量方式,適用于工序前后的精密檢測,特別適合高精度批量生產(chǎn)的零件檢測。設(shè)備在測量孔徑過程中,測頭通過中板自動對中,中板寬度越寬,對中精度越高,測量結(jié)果越可靠。但在測量過程中,還需注意確認(rèn)反轉(zhuǎn)點(diǎn),并通過轉(zhuǎn)動測量規(guī)獲取最小顯示值。此外,連接桿采用特殊的鎳合金材料,以確保測量精度。精準(zhǔn)檢測瑞士丹青OD塞規(guī)測量系統(tǒng)是一種具有自動顯示、自動定中心功能的高精度測量儀器,適合靜態(tài)和動態(tài)測量。通過手動測量可以檢測出孔的尺寸偏差和形狀誤差,也可安裝在測量設(shè)備上進(jìn)行自動檢測。適用通孔、盲孔、錐孔、臺階孔、方孔等測量。神器加持瑞士丹青IFM內(nèi)錐孔端面直徑測量系統(tǒng)可用來對內(nèi)錐孔端面直徑實(shí)施準(zhǔn)確快速測量,特別適用于螺釘沉孔、各類中心孔、錐孔以及各種槽的倒角、皮帶輪架等。由于所配指示表為函數(shù)表,可直接讀數(shù)。根據(jù)錐孔角度的不同,IFM測頭錐面角度有90°和127°兩種。可以根據(jù)用戶的要求特別開發(fā)各種專用量具。遙遙領(lǐng)先瑞士丹青Osimess系列兩瓣式小孔徑快速量儀,重復(fù)精度高,可檢測孔的圓度和橢圓度,內(nèi)置式彈性體提供了連續(xù)的測力,因此消除了人為因素帶來的測量誤差??梢钥焖俚恼{(diào)整到所需尺寸模塊式結(jié)構(gòu),配置各種附件后可滿足任何的測量需求,尤其適用小孔的測量,以及實(shí)驗(yàn)室中高精度要求孔徑測量。瑞士丹青SUBITO系列內(nèi)徑測量儀以精密測量、可靠性能和百年品牌歷史,樹立了行業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)測量設(shè)備的典范。無論是產(chǎn)品質(zhì)量還是技術(shù)支持,都具備高度的可信度,是企業(yè)值得信賴的選擇。我們誠摯地歡迎各行業(yè)關(guān)注并深入了解SUBITO系列內(nèi)徑測...
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集成式渦輪轉(zhuǎn)子測量和組裝平臺 “通過減少效率低下的轉(zhuǎn)子組件拆卸次數(shù),省去昂貴的拆卸費(fèi)用及時(shí)間,提高生產(chǎn)率并實(shí)現(xiàn)更高的質(zhì)量水平” 瑞士丹青GeoSpin高精度轉(zhuǎn)子測量和裝配優(yōu)化平臺是一種先進(jìn)的檢測設(shè)備,主要用于航空工業(yè)中對于零件,尤其是轉(zhuǎn)子和機(jī)匣的精確測量和優(yōu)化裝配。其主要功能包括測量圓度、跳動、平面度、同軸度、平行度等關(guān)鍵尺寸參數(shù),以確保零部件的加工質(zhì)量和裝配精度。典型案例應(yīng)用: 1、測量各種尺寸和尺寸的飛機(jī)發(fā)動機(jī),工業(yè)燃?xì)廨啓C(jī)和蒸汽輪機(jī)的大型圓形零件,例如回轉(zhuǎn)軸承和光學(xué)組件。2、監(jiān)視大型旋轉(zhuǎn)軸的電氣跳動(ERO)。3、計(jì)算圓形幾何形狀,包括圓度,偏心率,直徑和平面跳動,平面度和平行度。該測量機(jī)可以測量零件的連續(xù)內(nèi)外表面、不連續(xù)內(nèi)外表面,同時(shí)獲得多個(gè)截面圓度、跳動、平面度、平行度、同軸度等測量數(shù)據(jù)。該儀器可以用于車間現(xiàn)場檢測,尤其是在高噪音、高震動等惡劣環(huán)境下工作,可以對零件進(jìn)行準(zhǔn)確的調(diào)心調(diào)平。(儀器可以根據(jù)用戶特殊需要訂制)CHOOSE US1. 全自動——電動軸提高了穩(wěn)定性并減少了人為錯(cuò)誤,從而使軌距的可重復(fù)性和再現(xiàn)性(量規(guī) R&R)提高了10倍,比手動系統(tǒng)的同心度測量提高了3.5倍。 2. 廣泛的產(chǎn)品范圍——我們的產(chǎn)品范圍涵蓋(所有飛機(jī)發(fā)動機(jī)零件,從20–5000千克到最大的陸上燃?xì)鉁u輪盤,重量15000kg及以上。3. 廣泛采用——我們是轉(zhuǎn)子和磁盤測量的專家,在全球范圍內(nèi)已安裝數(shù)百臺。4. 全貌——我們?yōu)槟峁┍雀偁帉κ侄?倍的檢測數(shù)據(jù),這意味著您可以真正了解零部件(和組件)的形狀。5. 完全優(yōu)化的轉(zhuǎn)子組件——我們的IntelliStack軟件旨在優(yōu)化轉(zhuǎn)子組件,以最大程度地減少跳動或不平衡,或?qū)?我們的檢測 數(shù)據(jù)直接導(dǎo)出到您自己的堆疊軟件中。 6. 全包(包)式——完全控制更改和創(chuàng)建自己的檢驗(yàn)?zāi)0澹约芭c客戶和供應(yīng)商...